特殊電子ガス産業におけるキャノンパッキングの応用

エレクトロニクス産業は、今日の技術時代においてハイテク産業の発展を牽引する不可欠な産業である。必要とされるガスの種類も多く、品質も要求されるため、他のガス化学分野と区別するために、通常、エレクトロニクス産業で使用されるガスを特殊電子ガスと呼んでいます。

主な特殊電子ガスは、トリフルオロメタン、フッ化硫黄、三フッ化窒素、三塩化ホウ素など。

トリフルオロメタン（CHF3）は、フルオロホルムとも呼ばれる有機化合物ガスで、常温では無色無臭で、水、エタノール、アセトンに溶け、融点は-160℃、沸点は-84℃である。主に消火器や低温冷凍機の原料として使用される。

フッ化硫黄(SF6)は無機化合物の安定気体で、常温では無色不燃、無臭無毒、水、エタノール、エーテルにやや溶け、密度は約6.0886kg/m3、融点は-50.8℃、沸点は-63.8℃（昇華）、臨界温度は45.6℃、臨界圧力は3.76MPaで、非鉄金属の製錬・鋳造工程で大きな役割を果たしている。また、電子・電気機器のガス絶縁などにも使用できる。

三フッ化窒素（NF3）も無機化合物ガスであり、室温では無色で水に溶けず、融点は-207℃、沸点は129℃である。マイクロエレクトロニクス産業における高エネルギー燃料やプラズマエッチングガスとして使用できる。

三塩化ホウ素（BCI3）、別名塩化ホウ素、無色の発煙液体または気体、危険化学物質に属し、ベンゼン、二硫化炭素と可溶性であることができ、融点は-107.3℃であり、沸点は12.5℃であり、半導体シリコンのドーピング源であるだけでなく、有機合成触媒などである。三塩化ホウ素は人体に有害であり、吸入、経口、皮膚吸収することができず、環境にも一定の危険がある。

当社はラボラトリーパッキン、キャノンパッキング、θ(シータ)リングパッキンなどのラボラトリー用蒸留パッキンの製造を専門としています。キャノンパッキングは高純度蒸留業界において、高純度と高収率のダブルバランスを実現していると言えます。

実験室用の超高効率パッキングであるキャノンパッキングは、海外で広い市場を持っています。ハイテク産業における工業用ガスの応用が深まるにつれ、国内市場における特殊電子ガス製造用キャノンパッキングも有望な未来を切り開くだろう。